Управление аналитическим процессом и прецизионная фиксация пиков поглощения осуществляются при помощи специализированного программного обеспечения Quadera™. Автоматизированный алгоритм ПО позволяет настраивать разрешение на уровне 10% высоты пика в диапазоне 0,5–2,5 а.е.м. и собирать данные со встроенных аналоговых входов в режиме реального времени, полностью исключая операторские погрешности. Массивная стальная стержневая система диаметром 6 мм обеспечивает механическую стабильность и долговечность масс-фильтра при непрерывных серийных тестах. Сформированные программным комплексом цифровые спектрограммы, калибровочные кривые и протоколы компонентного анализа формируют объективную доказательную базу для судебных заседаний.
В экспертной практике ЛСЭ ФОРЕНС был разобран серьезный инцидент, зафиксированный на крупном заводе по производству микроэлектроники и деталей навигационных систем. При запуске новой технологической линии вакуумного напыления плат был выявлен аномально высокий процент брака: на подложках кремниевых пластин образовывались невидимые глазу раковины, нарушающие проводимость контактов. Поставщик технологического азота высокой чистоты утверждал, что его газ полностью соответствует ТУ, а причиной дефектов является нарушение герметичности самой вакуумной камеры со стороны инженерной службы завода. Для выявления скрытых дефектов рабочей среды, фиксации факта поставки некачественной продукции и локализации источника загрязнения была назначена независимая экспертиза конструкционных материалов.
В ходе проведения лабораторного исследования пробы поставляемого азота из баллонов и газовая среда непосредственно из камеры напыления были подключены через кварцевый капилляр к масс-спектрометру ThermoStar GSD 320 T. Программное обеспечение Quadera™ провело непрерывный мониторинг состава смеси. В процессе высокоточного анализа в исходном азоте поставщика детектор C-SEM зафиксировал пик на массе, соответствующей парам компрессионного масла, в концентрации около 15 ppm, что значительно превышало жесткие лимиты электроники. Лабораторная верификация доказала, что загрязнение происходило на этапе заправки баллонов из-за износа фильтров наливной станции контрагента. На основе выданного официального технического заключения с детальными масс-спектрами поставщик признал вину, заменил партию газов и возместил заводу стоимость испорченных полупроводниковых компонентов в добровольном порядке.
